氣動量儀可通過RS485/RS232通信接口，與上位機通信，上位機可以包括PLC、工控機等系統，可傳輸的數據包括測量值、OK/NG判定結果等。在實現自動化測量時，對于機械結構需要注意精度，可速度上料下料；對于電氣控制部分需要確定雙方使用的通信協議，另外要保持工作臺、氣源等外部條件的穩定性。
元量測儀可定義為一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統（如光學尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標（x,y,z）及各項功能量測的儀器，三坐標測量儀是坐標測量儀中的一種。
氣動量儀是利用光柵繞射所制成的量測系統俗稱光學尺，其光源經過瞄準透鏡而投射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經放大及修正后就可以顯示出來，其系統及輸出信號情形。
操作量測前準備應檢查空氣軸承壓力是否夠，安裝工件測頭選擇及安裝，將適當之測頭裝于Z軸承接器，檢視Z軸是否會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥）。鎖定各軸之適當位置，量測操作應開啟處理機電源，啟開打印機開關，參考操作手冊，選擇所需功能之指令進行量測，并讀出量測值。完成后注意事項有Z軸移至原來位置后鎖定，X,Y軸各移至中間鎖定，關電源及壓力閥，取下測頭并作適當的保養。
